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Robot oblea Lobster185Z340D-T2X0-C

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semiconductor wafer handling
wafer handling automation

El robot de manipulación de obleas de la serie 185Z340D-T2X0-C es un robot de transferencia de obleas de dos brazos con una tasa de carga útil de 2kg. Equipado con un sistema de transferencia de obleas de alta tecnología, tiene una precisión, flexibilidad y seguridad extremadamente altas.

Especificación del robot oblea Lobster185Z340D-T2X0-C


Modelo

Lobster185Z340D-T2X0-C

Tipo

Dos armados

Especificación aplicada

~ 300

Carga útil nominal

2kg

Grado de libertad

4

Rango de movimiento

Eje de elevación (Z)

340mm

Eje giratorio (T)

340 grados

Eje de estiramiento (R)

360mm

Velocidad máxima

Eje de elevación (Z)

400 mm/s

Eje giratorio (T)

260 grados/seg

Eje de estiramiento (R)

1500 mm/s

Características

1) Entorno de sala limpia.

2) del brazo robótico Longitud: 135mm; 185mm.

3) La estructura de dos brazos acorta el tiempo de operación del reemplazo de la oblea.

4) Sensor de mapeo para detectar si hay obleas, si están superadas o inclinadas.

5) Las especificaciones se pueden personalizar según los requisitos.

Precisión de reposicionamiento

± 0,1mm

Tasa de fugas

-

Limpieza

100 de clase

Interfaz

Interfaz de E/S

4 entradas digitales configurables;

4 salidas digitales configurables;

8 entradas digitales generales;

8 salidas digitales generales;

(Reextensible 8 entradas/salidas digitales).

Ethernet

1

USB

2

RS232/RS485

1

Protocolo de comunicación

Modbus-RTU/TCP, enchufe

Longitud del brazo (R)

185mm

Trazo vertical (Z)

340mm

Altura de la tabla de la máquina (H)

605mm

Longitud del actuador (L)

Basado en la demanda

Altura desde la tabla hasta la posición hacia abajo del trazo (H)

250mm


Características de Lobster185Z340D-T2X0-C oblea transferencia robot

  • Dos brazos; la carga útil es de 2kg;

  • 4-grados de libertad;

  • La precisión de reposicionamiento alcanza ± 0,1mm;

  • La limpieza llega a Class100.


Dibujo técnico de Lobster185Z340D-T2X0-C oblea robot

Dibujo técnico de Lobster185Z340D-T2X0-C oblea robot

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