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Robot oblea Lobster200Z300S-T0X5-C

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wafer handling robot

El robot de manipulación de obleas de la serie 200Z300S-T0X5 de la langosta es un robot de transferencia de obleas de un solo brazo con una tasa de carga útil de 0,5 kg. Tiene una precisión, flexibilidad y seguridad extremadamente alta.

Especificación del robot oblea Lobster200Z300S-T0X5-C


Modelo

Lobster200Z300S-T0X5-C

Tipo

Un solo brazo

Especificación aplicada

~ 300

Carga útil nominal

0,5 kg

Grado de libertad

3

Rango de movimiento

Eje de elevación (Z)

300mm

Eje giratorio (T)

340 grados

Eje de estiramiento (R)

400mm

Velocidad máxima

Eje de elevación (Z)

400 mm/s

Eje giratorio (T)

260 grados/seg

Eje de estiramiento (R)

1700 mm/s

Características

1) Entorno de sala limpia.

2) Longitud del brazo robótico: 200mm.

3) Todos los ejes adoptan servomotores para satisfacer las necesidades de manejo de alta velocidad.

4) Sensor de mapeo para detectar si hay obleas, si están superadas o inclinadas.

5) Las especificaciones se pueden personalizar según los requisitos.

Precisión de reposicionamiento

± 0,1mm

Tasa de fugas

-

Limpieza

100 de clase

Interfaz

Interfaz de E/S

4 entradas digitales configurables;

4 salidas digitales configurables;

8 entradas digitales generales;

8 salidas digitales generales;

(Reextensible 8 entradas/salidas digitales).

Ethernet

1

USB

2

RS232/RS485

1

Protocolo de comunicación

Modbus-RTU/TCP, enchufe

Longitud del brazo (R)

200mm

Trazo vertical (Z)

300mm

Altura de la tabla de la máquina (H)

620mm

Longitud del actuador (L)

Basado en la demanda

Altura desde la tabla hasta la posición hacia abajo del trazo (H)

128mm



Características de Lobster200Z300S-T0X5-C oblea robot

  • Un solo brazo;

  • La carga útil es de 0,5 kg;

  • 3-grados-de-libertad;

  • La precisión de reposicionamiento alcanza ± 0,1mm;

  • La limpieza llega a Class100.


Dibujo técnico de Lobster200Z300S-T0X5-C oblea robot

Dibujo técnico de Lobster200Z300S-T0X5-C oblea robot

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