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Robot oblea Lobster200Z300S-T0X5-V

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silicon wafer handling

El robot de manejo de obleas 200Z300S-T0X5-V de la serie Lobster es un robot de transferencia de obleas de un solo brazo con equipo avanzado de manejo de obleas. Es un modelo de vacío con una tasa de carga útil de 0,5 kg. Tiene una precisión, flexibilidad y seguridad extremadamente alta.

Especificación del robot oblea Lobster200Z300S-T0X5-V


Modelo

Lobster200Z300S-T0X5-V

Tipo

Un solo brazo

Especificación aplicada

~ 300

Carga útil nominal

0,5 kg

Grado de libertad

3

Rango de movimiento

Eje de elevación (Z)

300mm

Eje giratorio (T)

340 grados

Eje de estiramiento (R)

400mm

Velocidad máxima

Eje de elevación (Z)

300 mm/s

Eje giratorio (T)

400 grados/seg.

Eje de estiramiento (R)

700 mm/s

Características

1) Entorno de vacío.

2) Longitud del brazo robótico: 200mm.

3) Impulsión directa, estructura compacta

4) Sensor de mapeo para detectar si hay obleas, si están superadas o inclinadas.

5) Las especificaciones se pueden personalizar según los requisitos.

Precisión de reposicionamiento

± 0,1mm

Tasa de fugas

1*10E-6 Pa

Limpieza

ISO Class1

Interfaz

Interfaz de E/S

4 entradas digitales configurables;

4 salidas digitales configurables;

8 entradas digitales generales;

8 salidas digitales generales;

(Reextensible 8 entradas/salidas digitales).

Ethernet

1

USB

2

RS232/RS485

1

Protocolo de comunicación

Modbus-RTU/TCP, enchufe

Longitud del brazo (R)

200mm

Trazo vertical (Z)

150mm

Altura de la tabla de la máquina (H)

868mm

Longitud del actuador (L)

Basado en la demanda

Altura desde la tabla hasta la posición hacia abajo del trazo (H)

120mm


Características de Lobster200Z300S-T0X5-V oblea robot

  • De un solo brazo; la carga útil es de 0,5 kg;

  • 3-grados-de-libertad;

  • La precisión de reposicionamiento alcanza ± 0,1mm;

  • La limpieza llega a ISO Class1.


Dibujo técnico de Lobster200Z300S-T0X5-V oblea robot

Dibujo técnico de Lobster200Z300S-T0X5-V oblea robot

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